只要是需要感知的领域，都需要传感器。

　　传感器，是人工智能硬件设施里的“神经元”，也是物联网最重要的“元器件”之一，是培育和发展新质生产力的重要基础性器件。安徽北方微电子研究院集团有限公司（以下简称“微电子院”)研发的传感微结构参数测试系统，首次实现了加速度计敏感结构及陀螺敏感结构晶圆级全自动测试，将晶圆测试效率大幅提升，技术水平国内领先。2023年底，该装备被认定为2023年第四批安徽省首台套重大技术装备名单。

攻破技术瓶颈  加快产业化步伐

　　目前，MEMS传感器广泛应用于生物医疗、汽车电子、运动追踪、手机拍照等多个领域。数据显示，智能手机用到的传感器已上升到近20颗。自动驾驶模块中，L2自动驾驶只用到6颗传感器，L3自动驾驶就增至13颗传感器，L5自动驾驶对传感器的用量更是将超过30颗……从智能手机（智能终端），到智能汽车、生物医疗，传感器早已大显身手。

　　然而，高精度惯性MEMS传感器受限于现有微结构与处理电路接口匹配问题，生产周期长，制约着产能的扩充，且该类型产品封装与标定远高于普通的集成电路，限制了产品的市场占有率。

　　为降低生产成本，加快产业化步伐，微电子院攻坚克难，研制了国内领先的传感微结构参数测试系统，可在晶圆级对传感微结构的性能参数进行全自动评价。晶圆测试效率提升2.6倍，产生的直接经济效益210余万元，授权专利3件。

　　产品充分考虑测试精度、测试时间、测试灵活性及界面友好性等问题，在测试精度方面通过原创算法实现漏电、电容参量、带宽、谐振频率、Q值等参数的精确测试。

　　“该产品测试系统可直观显示测量参数并实时存储测试结果，同时对于晶圆级测试具有MAP图绘制以及离散分析能力。”项目负责人告诉记者，产品不但满足测试操作人员进行在线产品批量化测试应用，还可满足产品研制人员进行测试分析的需求，具有良好的应用前景。

拓宽服务领域  打造国内一流平台

　　“我们通过走出去展会布展、引进来现场参观等多种方式，吸引大批用户关注并形成订单，成功拓宽了服务领域，打开了新兴市场，延伸了产业链条。”项目负责人介绍，在开发首台套产品，解决自身需求的同时，微电子院形成了齐套的技术资料和完整的测试系统，同步面向全行业发布。

　　微电子院由华鑫智感、华鑫智控、芯动联科、星联智创和苏州博海等9家参控股公司组成。主要从事半导体集成电路与特种器件、硅基MEMS/MOEMS器件与微系统、光电器件与组件、LTCC微波/毫米波器件与组件、先进封装与3D集成微系统、智能传感与智慧互联、混合集成电路与微小型电子信息系统、电子元器件可靠性技术等八大微电子专业领域的研究开发、生产制造和技术服务。

　　经过近40年的建设和发展，逐步形成6英寸硅基MEMS工艺线、6英寸半导体集成电路工艺线、6英寸硅基光电器件集成器件工艺线、8英寸微系统集成与量产线、8英寸LTCC工艺线、厚薄膜混合集成与SIP工艺线、高可靠封装工艺线、智能传感器组件线、元器件测试与可靠性检测工艺线等九大工艺制造平台，是国内微电子专业方向最多、平台手段最丰富的综合性微电子科研机构和研产一体的微电子企业集团。